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防靜電接地通用規范

ICS ?91.200?CCS ?M04

 

團????體????標????準

T/ESD??2004—2023

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

防靜電接地通用規范

 

 

 

 

Geneural specifications?of?ESD grounding

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2023?–?6?–?25?發布 ???????????????????????????????????????2023?–?7?–?1?實施

 

 

 

上海防靜電工業協會 ??發 布

 

T/ESD 2004—2023

 

 

目????次

 

 

前言? ??II

1?范圍? ?1

2 規范性引用文件? ?1

3?術語和定義、縮略語? ?1

4?人員安全? ?2

5?接地系統要求? ?2

5.1?概述? ?2

5.2?防靜電接地極接地系統? ?2

5.3?安全保護地接地系統? ??3

5.4?等電位聯接? ??4

6?技術要求? ??4

6.1 接地極分系統 ??4

6.2?公共連接點聯接? ??6

6.3?公共接地點要求? ??6

6.4 工作臺等電位聯接? ??7

6.5?連接線? ??8

7?驗證? ??8

7.1?測試儀器 ??8

7.2?測量? ?8

8 接地安全檢查? ??8

 

 

 

前??言

 

 

本文件按照?GB/T 1.1—2020《標準化工作導則 ?第 1?部分:標準化文件的結構和起草規則》的規定起草。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。

本文件由上海防靜電工業協會提出并歸口。

本文件起草單位:上海騰甲防靜電科技有限公司、上海創紀科技發展有限公司、?上海晨隆靜電科技有限公司、上海電子工程設計研究院有限公司、北京東方計量測試研究所、上海精密計量測試研究所、廣州秀珀化工涂料有限公司、上海青瑩電子科技有限公司、上海佰潔靜電檢測技術中心、廈門永平堂靜電工程有限公司、蘇州亨達洋靜電技術有限公司、深圳市中明科技股份有限公司、上海佰斯特電子工程有限公司、蘇州鴻博斯特超凈科技股份有限公司、蘇州華瑞塑膠電子有限公司、中山市榮業化工原料有限公司、上海航天電子有限公司、上海啟永電子設備有限公司、上海仕原智能科技有限公司、浙江圣威裝飾科技有限公司、東莞市高知建筑裝飾材料有限公司、蘇州佳普斯信息科技有限公司、上海聞朗新材料科技有限公司、上海市計算機行業協會、中國電子科技集團公司第十三研究所、中國電子科技集團公司第五十五研究所、中國電子科技集團公司第十研究所。

本文件主要起草人: 張明、徐斌、任光輝、畢戈雄、黃建華、劉清平、包曉峰、程啟朝、花吉珍、李代勇、徐迎黨、尹永紅、陳國安、陳陣、俞旭濤、王磊、李天榮、高知喻、劉衛鵬、韓科勇、夏明偉、劉清堂、朱雪梅、裘維東、鮑志林。

 

 

 

防靜電接地通用規范

 

 

1??范圍

 

本文件規定了靜電敏感電子產品在生產、加工、存儲、運輸和使用維護過程中為防止靜電放電采用接地形式泄放靜電荷的聯接和要求。

本文件適用于防靜電接地的設計、施工、安裝、檢測與驗收、運行維護。

本文件不適用于易燃、易爆場所的接地。

 

2 ?規范性引用文件

 

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,僅該日期對應的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

本文件沒有規范性引用文件。

 

3 ?術語和定義、縮略語

 

下列術語和定義適用于本文件。

3.1 ?術語和定義

3.1.1

防靜電接地 ESD grounding

為達到靜電放電防護目標,通過合適的材料實現與大地可靠的連接。

3.1.2

公共接地點?common ground point

又稱接地端子,連接兩個或多個ESD防護物品的導體的接地裝置或位置。

3.1.3

公共連接點?common connection point

連接兩個或多個ESD防護物品的導體的裝置或位置,通過等電位連接使ESD防護物品處于相同的電位。?3.1.4

防靜電接地極?earthing electrode for electrostatic discharge (ESD)

除保護地之外的與大地連接起來的專為靜電防護而設的接地極。

3.1.5

等電位連接 equipotential bond

 

導電部件(或用于控制靜電放電的部件)的電氣連接,使其在正常和故障條件下處于基本相同的電位。

3.1.6

安全保護地 safety grounding device

簡稱安全地,也稱保護地。為安全目地,連接設備或設施至大地的接地系統。

3.1.7

軟接地 soft grounding

使物體通過一個足夠高的阻抗接往大地,以便發生觸電事故時把電流限制在人身安全電流之下。

3.2 ?縮略語

3.2.1 EPA——防靜電工作區。

3.2.2 ESD——靜電放電。

3.2.3 EBP——接地連接點/公共接地點。

 

4??人員安全

 

本文件不能取代或代替任何其他關于人員安全的規定。應采取減少電氣危害的措施,?并遵循設備的正確接地說明。

5 ?接地系統要求

 

5.1 概述

EPA 內操作靜電敏感器件/組部件的場所中所有設施設備、人員都應該實現接地。接地連接到公共接地點上。該公共接地點應根據使用場所的條件和技術要求,從下列選項中選擇合適的接地方式。

5.2?防靜電接地極接地系統

 

防靜電接地極接地系統一般由接地極分系統、連接線(干線、支線)、接地點、接地導體等組成,具體見圖?1。

 

 

接地極分系統

 

 

公共接地點???????????????????孤立導體

 

 

 

手腕帶?????????防靜電臺面

 

 

 

 

 

圖?1 ?防靜電接地極接地系統的聯接

 

 

采用防靜電接地極接地系統時,應選取系統中的公共接地點與保護地的等電位體進行聯接,連接點之間的電阻應小于?25Ω。以保證系統與保護地連接的設備與工具等之間處于等電位狀態。

5.3 安全保護地接地系統

5.3.1?在?EPA?內,當存在?TN-S?或?TN-C-S?供電系統時,具有的安全保護地可作為防靜電接地極進行接地系統連接。

注: TN 系統:電力系統有一點直接接地,電氣裝置的外露可導電部分通過保護線與該接地點相連接。根據中性導體(N)和保護導體(PE)的配置方式,TN 系統可分為如下三類:

1、TN-C 系統,整個系統的 N、PE 線是合一的。

2、TN-C-S 系統,系統中有一部分線路的 N、PE 線是合一的。

3、TN-S 系統,整個系統的 N、PE 線是分開的。

(GB 50052?-2009 供配電系統設計規范)

5.3.2?當使用該接地系統時,EPA?內的交流設備、工具以及保護地和所有防靜電設施設備共處于相同的電位。見圖?2。

 

 

安全保護地

 

 

防靜電地板 ???????????????公共接地點 ???????????????????孤立導體

 

 

 

手腕帶?????????防靜電臺面

 

 

 

 

 

圖?2 ?安全保護地接地系統的聯接

 

 

5.4 等電位聯接

在現場服務、操作和處理某些?ESD?敏感元件情況時,可能無法接到大地時,可采用等電位聯接,將所有的防靜電設施設備、操作人員和使用中的電氣設備進行聯接,使全部物品之間的電位均衡。見圖?3。

 

 

 

 

 

 

公共連接點??????????????????????貨架

 

 

 

手腕帶?????????防靜電臺面

 

 

 

 

 

圖?3??等電位聯接

 

 

 

6?技術要求

 

6.1 接地極分系統

 

6.1.1?防靜電接地極接地系統設施應具有接地極分系統,以便對靜電荷進行泄放時提供一個到大地的低阻抗通路,確保?EPA?內不發生靜電放電。

6.1.2?在接地極分系統設計施工之前,應對現場的土壤電阻率進行勘測和測量并記錄。自然特性如巖層、地下水以及人造地貌的特性對電阻率的影響,這些數據應作為接地極分系統設計施工資料的一部分。

6.1.3?接地極分系統對大地直流電阻應不大于?4?Ω。對于土壤電阻率大,達不到?4?Ω以下(包括?4Ω)時,可以考慮下列辦法(但不限于此),以減小大地電阻:

  1. a)增加接地極的數目;
  2. b)使用較長的接地極;
  3. c)用水平導線或格柵代替垂直接地極。

6.1.4?基本的接地極分系統由多根打入地下的接地極組成,接地極沿設施構筑物的四周距滴水溝外側600?mm~1800?mm?的地方均勻分布,在距地面至少?600?mm?深的地方,接地極間用?40?mm×4?mm?鍍鋅扁鋼或?30mm?×3mm?紫銅排相互連接起來(采用焊接見圖?4)形成一個完整的接地網。連接點采用焊接。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

6.1.5?接地極可采用浸銅鋼管,其長度不少于2500?mm,接地極之間的距離應不大于接地極長度的兩倍(如安裝條件困難,可以用較短的接地極),電極的直徑應不小于?20 mm,鍍銅層厚度不小于?0.3 mm,或采用鍍鋅鋼管(直徑為?50 mm、長度為?2500 mm)或采用鍍鋅角鋼(50 mm×50 mm×5 mm、長度為?2500 mm)作為接地極。

6.1.6?接地極應與防雷接地極裝置保持?20 m?以上距離。

6.1.7?如果為滿足接地電阻要求,需要埋得更深的接地極,應使用符合相同技術要求的、加長的接地極,對拼接的電極在接頭處應焊接牢靠。

6.1.8?防靜電接地主干線應焊接到接地極分系統上,截面積不小于?95 mm2。

6.2 公共連接點聯接

 

6.2.1 在防靜電接地極接地系統中,公共連接點引出線與電源配電箱內的接地等電位連接,實現兩個接地系統間的電壓差的平衡。其截面積不小于?4 mm2或寬度不小于?14 mm的銅編織帶。具體見圖?5。

 

 

 

 

 

 

 

 

防靜電接地

 

圖?5??公共連接點聯接

 

 

6.2.2?公共連接點引出的連接接地極分系統的接地主干線,其截面積不應小于?95 mm2。

6.2.3?公共連接點引出的連接各公共接地點的接地支線,應使用絕緣屏蔽電纜,其截面積不小于?2.5?mm2。

6.2.4防靜電接地系統各個連接部位之間應確保可靠連接。

 

6.3?公共接地點要求

 

6.3.1 EPA 內宜設置一個或多個公共接地點,以適應就近接地需求。

6.3.2 每個公共接地點可以連接多個防靜電設施設備。

6.3.3 公共接地點可以是接線條、匯流排或其它方便使用的接線方式。

6.3.4?任意公共接地點間電阻值小于?1Ω。

6.3.5 EPA內的接地連接點/公共接地點標識符號式樣如圖6所示,其尺寸的大小應能夠在普通照明條件下用肉眼清楚辨認。標記顏色應采用黃底黑色。接地連接點/公共接地點應用此符號標記。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

接地連接點/公共接地點符號式

 

6.4 工作臺等電位聯接

6.4.1 EPA操作靜電敏感器件的工位,可根據需要設置防靜電工作臺等電位體,見圖7。

 

 

 

手腕帶

工作臺面

接地連接點

地墊

 

 

 

圖?7 ?防靜電工作臺等電位體示意圖

 

6.4.2 防靜電工作臺等電位體,連接該工位的防靜電設施設備,包括并不限于:手腕帶、工作臺面、臺墊、接地工作服等。

6.4.3 防靜電設施設備的接地可以是軟接地,也可以直接接地。涉及人身安全的防靜電接地必須采取軟接地。

注:使用的手腕帶和其他導線可能有附加電阻,典型值是1MΩ,作用為限止入地電流,這一點特別重要,因為該連接導線位于人體與地之間。

6.4.4 每個防靜電設施設備的接地應獨立與公共連接點連接,不得串聯。

6.4.5?當接地對象為非金屬材料時,應在接地對象上裝設緊密結合的可靠金屬導體,并應在金屬導體上引出接地導體。金屬導體的緊密結合面積不小于?100mm2。

 

6.5??連接線

6.5.1 公共接地點到防靜電工作站等電位體的連接線的截面積不小于?2.5mm2。

6.5.2 連接線的連接應采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等。

 

7??驗證

 

7.1 ?測試儀器

測試接地電阻使用直流電阻計,電阻計的量程滿足測量要求,準確度應在±10%以內。

7.2 ?測量

7.2.1 ?和防靜電設施設備接地相連接的公共接地點與安全保護地之間的連接電阻測試。用歐姆表測量選取的和防靜電設施設備接地相連接公共接地點與安全保護地之間電阻,包括所有互連線和固定裝置的電阻。總電阻不應大于?25Ω。

7.2.2 ?公共接地點與安全保護地之間的連接電阻測試。用歐姆表測量公共接地點和安全保護地之間電阻,包括所有互連線和固定裝置的電阻。總電阻不應大于?1Ω。

7.2.3 ?接地極分系統大地電阻應采用電位降法在干燥土壤表面上、設施竣工之前進行測量。干燥的表面是指在三天之內未下過雨的土壤表面。建議至少第一年每三個月和以后為每?12?個月進行一次這樣的測量并記錄,以觀察接地極分系統的穩定性。

7.2.4 ?防靜電接地極接地系統中,電源配電箱內連接安全地的等電位體和防靜電接地極公共接地點的電阻測試,測試頻次建議至少每年進行一次,測量并記錄。

7.2.5 ?工作臺等電位體與安全地接地連接電阻測試。用歐姆表測量工作臺等電位體接地點與安全保護地之間電阻,包括所有互連線和固定裝置的電阻。總電阻不應大于?25Ω。

7.2.6 ?防靜電接地系統各個連接部位之間的搭接電阻測試,用歐姆表測量公共連接點和接線端之間電阻。電阻不應大于?0.1Ω。

 

8 ??接地安全檢查

 

EPA?使用前及按規定的檢查周期內,對?EPA?系統的接地連接線、公共接地點、工作臺等電位聯接及防靜電接地與安全地間的連接狀況進行嚴格檢查,確保技術狀態良好。

1) 檢查防靜電接地狀態;

2)?目測檢查安全接地、儀器設備保護地線是否連接可靠;

3) 檢查防靜電設施設備、工具是否按要求接地;

4) 監督防靜電接地檢查并記錄。

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