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防靜電接地通用規(guī)范

ICS ?91.200?CCS ?M04

 

團(tuán)????體????標(biāo)????準(zhǔn)

T/ESD??2004—2023

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

防靜電接地通用規(guī)范

 

 

 

 

Geneural specifications?of?ESD grounding

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2023?–?6?–?25?發(fā)布 ???????????????????????????????????????2023?–?7?–?1?實(shí)施

 

 

 

上海防靜電工業(yè)協(xié)會(huì) ??發(fā) 布

 

T/ESD 2004—2023

 

 

目????次

 

 

前言? ??II

1?范圍? ?1

2 規(guī)范性引用文件? ?1

3?術(shù)語(yǔ)和定義、縮略語(yǔ)? ?1

4?人員安全? ?2

5?接地系統(tǒng)要求? ?2

5.1?概述? ?2

5.2?防靜電接地極接地系統(tǒng)? ?2

5.3?安全保護(hù)地接地系統(tǒng)? ??3

5.4?等電位聯(lián)接? ??4

6?技術(shù)要求? ??4

6.1 接地極分系統(tǒng) ??4

6.2?公共連接點(diǎn)聯(lián)接? ??6

6.3?公共接地點(diǎn)要求? ??6

6.4 工作臺(tái)等電位聯(lián)接? ??7

6.5?連接線? ??8

7?驗(yàn)證? ??8

7.1?測(cè)試儀器 ??8

7.2?測(cè)量? ?8

8 接地安全檢查? ??8

 

 

 

前??言

 

 

本文件按照?GB/T 1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 ?第 1?部分:標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任。

本文件由上海防靜電工業(yè)協(xié)會(huì)提出并歸口。

本文件起草單位:上海騰甲防靜電科技有限公司、上海創(chuàng)紀(jì)科技發(fā)展有限公司、?上海晨隆靜電科技有限公司、上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司、北京東方計(jì)量測(cè)試研究所、上海精密計(jì)量測(cè)試研究所、廣州秀珀化工涂料有限公司、上海青瑩電子科技有限公司、上海佰潔靜電檢測(cè)技術(shù)中心、廈門永平堂靜電工程有限公司、蘇州亨達(dá)洋靜電技術(shù)有限公司、深圳市中明科技股份有限公司、上海佰斯特電子工程有限公司、蘇州鴻博斯特超凈科技股份有限公司、蘇州華瑞塑膠電子有限公司、中山市榮業(yè)化工原料有限公司、上海航天電子有限公司、上海啟永電子設(shè)備有限公司、上海仕原智能科技有限公司、浙江圣威裝飾科技有限公司、東莞市高知建筑裝飾材料有限公司、蘇州佳普斯信息科技有限公司、上海聞朗新材料科技有限公司、上海市計(jì)算機(jī)行業(yè)協(xié)會(huì)、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十研究所。

本文件主要起草人: 張明、徐斌、任光輝、畢戈雄、黃建華、劉清平、包曉峰、程啟朝、花吉珍、李代勇、徐迎黨、尹永紅、陳國(guó)安、陳陣、俞旭濤、王磊、李天榮、高知喻、劉衛(wèi)鵬、韓科勇、夏明偉、劉清堂、朱雪梅、裘維東、鮑志林。

 

 

 

防靜電接地通用規(guī)范

 

 

1??范圍

 

本文件規(guī)定了靜電敏感電子產(chǎn)品在生產(chǎn)、加工、存儲(chǔ)、運(yùn)輸和使用維護(hù)過(guò)程中為防止靜電放電采用接地形式泄放靜電荷的聯(lián)接和要求。

本文件適用于防靜電接地的設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢測(cè)與驗(yàn)收、運(yùn)行維護(hù)。

本文件不適用于易燃、易爆場(chǎng)所的接地。

 

2 ?規(guī)范性引用文件

 

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

本文件沒(méi)有規(guī)范性引用文件。

 

3 ?術(shù)語(yǔ)和定義、縮略語(yǔ)

 

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

3.1 ?術(shù)語(yǔ)和定義

3.1.1

防靜電接地 ESD grounding

為達(dá)到靜電放電防護(hù)目標(biāo),通過(guò)合適的材料實(shí)現(xiàn)與大地可靠的連接。

3.1.2

公共接地點(diǎn)?common ground point

又稱接地端子,連接兩個(gè)或多個(gè)ESD防護(hù)物品的導(dǎo)體的接地裝置或位置。

3.1.3

公共連接點(diǎn)?common connection point

連接兩個(gè)或多個(gè)ESD防護(hù)物品的導(dǎo)體的裝置或位置,通過(guò)等電位連接使ESD防護(hù)物品處于相同的電位。?3.1.4

防靜電接地極?earthing electrode for electrostatic discharge (ESD)

除保護(hù)地之外的與大地連接起來(lái)的專為靜電防護(hù)而設(shè)的接地極。

3.1.5

等電位連接 equipotential bond

 

導(dǎo)電部件(或用于控制靜電放電的部件)的電氣連接,使其在正常和故障條件下處于基本相同的電位。

3.1.6

安全保護(hù)地 safety grounding device

簡(jiǎn)稱安全地,也稱保護(hù)地。為安全目地,連接設(shè)備或設(shè)施至大地的接地系統(tǒng)。

3.1.7

軟接地 soft grounding

使物體通過(guò)一個(gè)足夠高的阻抗接往大地,以便發(fā)生觸電事故時(shí)把電流限制在人身安全電流之下。

3.2 ?縮略語(yǔ)

3.2.1 EPA——防靜電工作區(qū)。

3.2.2 ESD——靜電放電。

3.2.3 EBP——接地連接點(diǎn)/公共接地點(diǎn)。

 

4??人員安全

 

本文件不能取代或代替任何其他關(guān)于人員安全的規(guī)定。應(yīng)采取減少電氣危害的措施,?并遵循設(shè)備的正確接地說(shuō)明。

5 ?接地系統(tǒng)要求

 

5.1 概述

EPA 內(nèi)操作靜電敏感器件/組部件的場(chǎng)所中所有設(shè)施設(shè)備、人員都應(yīng)該實(shí)現(xiàn)接地。接地連接到公共接地點(diǎn)上。該公共接地點(diǎn)應(yīng)根據(jù)使用場(chǎng)所的條件和技術(shù)要求,從下列選項(xiàng)中選擇合適的接地方式。

5.2?防靜電接地極接地系統(tǒng)

 

防靜電接地極接地系統(tǒng)一般由接地極分系統(tǒng)、連接線(干線、支線)、接地點(diǎn)、接地導(dǎo)體等組成,具體見(jiàn)圖?1。

 

 

接地極分系統(tǒng)

 

 

公共接地點(diǎn)???????????????????孤立導(dǎo)體

 

 

 

手腕帶?????????防靜電臺(tái)面

 

 

 

 

 

圖?1 ?防靜電接地極接地系統(tǒng)的聯(lián)接

 

 

采用防靜電接地極接地系統(tǒng)時(shí),應(yīng)選取系統(tǒng)中的公共接地點(diǎn)與保護(hù)地的等電位體進(jìn)行聯(lián)接,連接點(diǎn)之間的電阻應(yīng)小于?25Ω。以保證系統(tǒng)與保護(hù)地連接的設(shè)備與工具等之間處于等電位狀態(tài)。

5.3 安全保護(hù)地接地系統(tǒng)

5.3.1?在?EPA?內(nèi),當(dāng)存在?TN-S?或?TN-C-S?供電系統(tǒng)時(shí),具有的安全保護(hù)地可作為防靜電接地極進(jìn)行接地系統(tǒng)連接。

注: TN 系統(tǒng):電力系統(tǒng)有一點(diǎn)直接接地,電氣裝置的外露可導(dǎo)電部分通過(guò)保護(hù)線與該接地點(diǎn)相連接。根據(jù)中性導(dǎo)體(N)和保護(hù)導(dǎo)體(PE)的配置方式,TN 系統(tǒng)可分為如下三類:

1、TN-C 系統(tǒng),整個(gè)系統(tǒng)的 N、PE 線是合一的。

2、TN-C-S 系統(tǒng),系統(tǒng)中有一部分線路的 N、PE 線是合一的。

3、TN-S 系統(tǒng),整個(gè)系統(tǒng)的 N、PE 線是分開(kāi)的。

(GB 50052?-2009 供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范)

5.3.2?當(dāng)使用該接地系統(tǒng)時(shí),EPA?內(nèi)的交流設(shè)備、工具以及保護(hù)地和所有防靜電設(shè)施設(shè)備共處于相同的電位。見(jiàn)圖?2。

 

 

安全保護(hù)地

 

 

防靜電地板 ???????????????公共接地點(diǎn) ???????????????????孤立導(dǎo)體

 

 

 

手腕帶?????????防靜電臺(tái)面

 

 

 

 

 

圖?2 ?安全保護(hù)地接地系統(tǒng)的聯(lián)接

 

 

5.4 等電位聯(lián)接

在現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)、操作和處理某些?ESD?敏感元件情況時(shí),可能無(wú)法接到大地時(shí),可采用等電位聯(lián)接,將所有的防靜電設(shè)施設(shè)備、操作人員和使用中的電氣設(shè)備進(jìn)行聯(lián)接,使全部物品之間的電位均衡。見(jiàn)圖?3。

 

 

 

 

 

 

公共連接點(diǎn)??????????????????????貨架

 

 

 

手腕帶?????????防靜電臺(tái)面

 

 

 

 

 

圖?3??等電位聯(lián)接

 

 

 

6?技術(shù)要求

 

6.1 接地極分系統(tǒng)

 

6.1.1?防靜電接地極接地系統(tǒng)設(shè)施應(yīng)具有接地極分系統(tǒng),以便對(duì)靜電荷進(jìn)行泄放時(shí)提供一個(gè)到大地的低阻抗通路,確保?EPA?內(nèi)不發(fā)生靜電放電。

6.1.2?在接地極分系統(tǒng)設(shè)計(jì)施工之前,應(yīng)對(duì)現(xiàn)場(chǎng)的土壤電阻率進(jìn)行勘測(cè)和測(cè)量并記錄。自然特性如巖層、地下水以及人造地貌的特性對(duì)電阻率的影響,這些數(shù)據(jù)應(yīng)作為接地極分系統(tǒng)設(shè)計(jì)施工資料的一部分。

6.1.3?接地極分系統(tǒng)對(duì)大地直流電阻應(yīng)不大于?4?Ω。對(duì)于土壤電阻率大,達(dá)不到?4?Ω以下(包括?4Ω)時(shí),可以考慮下列辦法(但不限于此),以減小大地電阻:

  1. a)增加接地極的數(shù)目;
  2. b)使用較長(zhǎng)的接地極;
  3. c)用水平導(dǎo)線或格柵代替垂直接地極。

6.1.4?基本的接地極分系統(tǒng)由多根打入地下的接地極組成,接地極沿設(shè)施構(gòu)筑物的四周距滴水溝外側(cè)600?mm~1800?mm?的地方均勻分布,在距地面至少?600?mm?深的地方,接地極間用?40?mm×4?mm?鍍鋅扁鋼或?30mm?×3mm?紫銅排相互連接起來(lái)(采用焊接見(jiàn)圖?4)形成一個(gè)完整的接地網(wǎng)。連接點(diǎn)采用焊接。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

6.1.5?接地極可采用浸銅鋼管,其長(zhǎng)度不少于2500?mm,接地極之間的距離應(yīng)不大于接地極長(zhǎng)度的兩倍(如安裝條件困難,可以用較短的接地極),電極的直徑應(yīng)不小于?20 mm,鍍銅層厚度不小于?0.3 mm,或采用鍍鋅鋼管(直徑為?50 mm、長(zhǎng)度為?2500 mm)或采用鍍鋅角鋼(50 mm×50 mm×5 mm、長(zhǎng)度為?2500 mm)作為接地極。

6.1.6?接地極應(yīng)與防雷接地極裝置保持?20 m?以上距離。

6.1.7?如果為滿足接地電阻要求,需要埋得更深的接地極,應(yīng)使用符合相同技術(shù)要求的、加長(zhǎng)的接地極,對(duì)拼接的電極在接頭處應(yīng)焊接牢靠。

6.1.8?防靜電接地主干線應(yīng)焊接到接地極分系統(tǒng)上,截面積不小于?95 mm2。

6.2 公共連接點(diǎn)聯(lián)接

 

6.2.1 在防靜電接地極接地系統(tǒng)中,公共連接點(diǎn)引出線與電源配電箱內(nèi)的接地等電位連接,實(shí)現(xiàn)兩個(gè)接地系統(tǒng)間的電壓差的平衡。其截面積不小于?4 mm2或?qū)挾炔恍∮?14 mm的銅編織帶。具體見(jiàn)圖?5。

 

 

 

 

 

 

 

 

防靜電接地

 

圖?5??公共連接點(diǎn)聯(lián)接

 

 

6.2.2?公共連接點(diǎn)引出的連接接地極分系統(tǒng)的接地主干線,其截面積不應(yīng)小于?95 mm2。

6.2.3?公共連接點(diǎn)引出的連接各公共接地點(diǎn)的接地支線,應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜,其截面積不小于?2.5?mm2。

6.2.4防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間應(yīng)確保可靠連接。

 

6.3?公共接地點(diǎn)要求

 

6.3.1 EPA 內(nèi)宜設(shè)置一個(gè)或多個(gè)公共接地點(diǎn),以適應(yīng)就近接地需求。

6.3.2 每個(gè)公共接地點(diǎn)可以連接多個(gè)防靜電設(shè)施設(shè)備。

6.3.3 公共接地點(diǎn)可以是接線條、匯流排或其它方便使用的接線方式。

6.3.4?任意公共接地點(diǎn)間電阻值小于?1Ω。

6.3.5 EPA內(nèi)的接地連接點(diǎn)/公共接地點(diǎn)標(biāo)識(shí)符號(hào)式樣如圖6所示,其尺寸的大小應(yīng)能夠在普通照明條件下用肉眼清楚辨認(rèn)。標(biāo)記顏色應(yīng)采用黃底黑色。接地連接點(diǎn)/公共接地點(diǎn)應(yīng)用此符號(hào)標(biāo)記。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

接地連接點(diǎn)/公共接地點(diǎn)符號(hào)式

 

6.4 工作臺(tái)等電位聯(lián)接

6.4.1 EPA操作靜電敏感器件的工位,可根據(jù)需要設(shè)置防靜電工作臺(tái)等電位體,見(jiàn)圖7。

 

 

 

手腕帶

工作臺(tái)面

接地連接點(diǎn)

地墊

 

 

 

圖?7 ?防靜電工作臺(tái)等電位體示意圖

 

6.4.2 防靜電工作臺(tái)等電位體,連接該工位的防靜電設(shè)施設(shè)備,包括并不限于:手腕帶、工作臺(tái)面、臺(tái)墊、接地工作服等。

6.4.3 防靜電設(shè)施設(shè)備的接地可以是軟接地,也可以直接接地。涉及人身安全的防靜電接地必須采取軟接地。

注:使用的手腕帶和其他導(dǎo)線可能有附加電阻,典型值是1MΩ,作用為限止入地電流,這一點(diǎn)特別重要,因?yàn)樵撨B接導(dǎo)線位于人體與地之間。

6.4.4 每個(gè)防靜電設(shè)施設(shè)備的接地應(yīng)獨(dú)立與公共連接點(diǎn)連接,不得串聯(lián)。

6.4.5?當(dāng)接地對(duì)象為非金屬材料時(shí),應(yīng)在接地對(duì)象上裝設(shè)緊密結(jié)合的可靠金屬導(dǎo)體,并應(yīng)在金屬導(dǎo)體上引出接地導(dǎo)體。金屬導(dǎo)體的緊密結(jié)合面積不小于?100mm2。

 

6.5??連接線

6.5.1 公共接地點(diǎn)到防靜電工作站等電位體的連接線的截面積不小于?2.5mm2。

6.5.2 連接線的連接應(yīng)采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等。

 

7??驗(yàn)證

 

7.1 ?測(cè)試儀器

測(cè)試接地電阻使用直流電阻計(jì),電阻計(jì)的量程滿足測(cè)量要求,準(zhǔn)確度應(yīng)在±10%以內(nèi)。

7.2 ?測(cè)量

7.2.1 ?和防靜電設(shè)施設(shè)備接地相連接的公共接地點(diǎn)與安全保護(hù)地之間的連接電阻測(cè)試。用歐姆表測(cè)量選取的和防靜電設(shè)施設(shè)備接地相連接公共接地點(diǎn)與安全保護(hù)地之間電阻,包括所有互連線和固定裝置的電阻。總電阻不應(yīng)大于?25Ω。

7.2.2 ?公共接地點(diǎn)與安全保護(hù)地之間的連接電阻測(cè)試。用歐姆表測(cè)量公共接地點(diǎn)和安全保護(hù)地之間電阻,包括所有互連線和固定裝置的電阻。總電阻不應(yīng)大于?1Ω。

7.2.3 ?接地極分系統(tǒng)大地電阻應(yīng)采用電位降法在干燥土壤表面上、設(shè)施竣工之前進(jìn)行測(cè)量。干燥的表面是指在三天之內(nèi)未下過(guò)雨的土壤表面。建議至少第一年每三個(gè)月和以后為每?12?個(gè)月進(jìn)行一次這樣的測(cè)量并記錄,以觀察接地極分系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

7.2.4 ?防靜電接地極接地系統(tǒng)中,電源配電箱內(nèi)連接安全地的等電位體和防靜電接地極公共接地點(diǎn)的電阻測(cè)試,測(cè)試頻次建議至少每年進(jìn)行一次,測(cè)量并記錄。

7.2.5 ?工作臺(tái)等電位體與安全地接地連接電阻測(cè)試。用歐姆表測(cè)量工作臺(tái)等電位體接地點(diǎn)與安全保護(hù)地之間電阻,包括所有互連線和固定裝置的電阻。總電阻不應(yīng)大于?25Ω。

7.2.6 ?防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間的搭接電阻測(cè)試,用歐姆表測(cè)量公共連接點(diǎn)和接線端之間電阻。電阻不應(yīng)大于?0.1Ω。

 

8 ??接地安全檢查

 

EPA?使用前及按規(guī)定的檢查周期內(nèi),對(duì)?EPA?系統(tǒng)的接地連接線、公共接地點(diǎn)、工作臺(tái)等電位聯(lián)接及防靜電接地與安全地間的連接狀況進(jìn)行嚴(yán)格檢查,確保技術(shù)狀態(tài)良好。

1) 檢查防靜電接地狀態(tài);

2)?目測(cè)檢查安全接地、儀器設(shè)備保護(hù)地線是否連接可靠;

3) 檢查防靜電設(shè)施設(shè)備、工具是否按要求接地;

4) 監(jiān)督防靜電接地檢查并記錄。

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